专家解读65纳米光刻机的分辨率 技术瓶颈与多重曝光潜力【微发信息网】
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专家解读65纳米光刻机的分辨率 技术瓶颈与多重曝光潜力

   2024-09-19 互联网微发信息网67
核心提示:近期,互联网上关于“65纳米光刻机”的讨论颇为热烈,但诸多言论缺乏权威依据,导致不少人对这一技术概念的理解愈发模糊。有人仅凭“8纳米套刻精度”来阐释65纳米光刻机的分辨能力,这种简化处理加深了混淆

专家解读65纳米光刻机的分辨率

近期,互联网上关于“65纳米光刻机”的讨论颇为热烈,但诸多言论缺乏权威依据,导致不少人对这一技术概念的理解愈发模糊。有人仅凭“8纳米套刻精度”来阐释65纳米光刻机的分辨能力,这种简化处理加深了混淆。幸运的是,随着科普工作的推进,大众逐渐达成一项共识:提及的65纳米分辨率、搭配8纳米套刻精度的ArF光源光刻机,其原型大约是20年前阿斯麦公司推出的“XT:1460K”型号。

专家解读65纳米光刻机的分辨率

接下来的问题是,这款光刻机能否借助多重曝光技术达到更高级别的芯片制造节点?回顾2008年IEEE发表的一篇文章,文中探讨了193纳米光刻机在套刻精度控制上的挑战,我们借此文数据分析来简要概括。

专家解读65纳米光刻机的分辨率 技术瓶颈与多重曝光潜力

文章中列举了阿斯麦一系列光刻机,从干式(如870G至1400E)演进到初代浸没式(如1700Fi、1900Gi),展示了它们的分辨率与套刻精度变化。图表中,顶部蓝色线条代表光刻机分辨率,干式光刻时代,这几乎等同于芯片的节点名称。显而易见,阿斯麦的XT:1400E型干式ArF光刻机匹配了65纳米分辨率和8纳米套刻精度的标准。

专家解读65纳米光刻机的分辨率 技术瓶颈与多重曝光潜力

橙色线条则展示了在特定分辨率下允许的最大套刻精度偏差,例如在65纳米分辨率下,允许的偏差为11纳米。因此,8纳米的套刻精度完全满足65纳米工艺标准。值得注意的是,在65纳米节点前,因套刻精度有较大余量,其重要性未被充分重视。而抵达65纳米时,随着干式光刻接近极限,套刻精度的富余空间几近消失。

 
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