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电子元器件,华力PPCS自动控制的构架传统的集成电路生产控制方式属于开环控制方式(图1)。工程师对特定的产品给出参数,产品的量测结果只用于判断是否符合生产规格。这样的开环系统输出只受输入的控制,在精度控制和抑制干扰方面的表现都是比较差的,而对于目前高精度的集成电路生产要求,传统的集成电路生产控制方式已经不能满足需求了。如果把现有的控制方式改造为控制性能较好的闭环控制系统,就能提升生产精度,减少产品的等待生产时间,提高了瓶颈设备的利用率,从而可以实现节约生产成本的战略目标。同时更可以通过闭环控制系统自动调节的特点强化生产系统的抗干扰因素的能力,提高产品生产质量。如图2所示,在现有的生产系统中增加一道环节“生产参数控制系统(ProcessParameterControlSystem,PPCS)”。通过生产参数控制系统对量测结果进行分析,并相应自动调节生产参数。
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